第一阶段是：原始崇拜阶段。就是说城隍信仰起源于原始社会中上古时代的土地崇拜。祭祀城隍是上古祭祀社稷的延续。《礼记》《郊特性》中除了有祭社神和稷神外，还有祭祀水庸神的，这个水庸其实就是城隍。因为水为城池，庸与墉同，即城壁。早在周朝，每到收获之后，到了除夕，人们都要腊祭八神，其中第七神就是水庸神，水即隍，庸即城，水庸神即城隍神。

第二阶段是：人格化阶段。就是三国以后，城隍逐渐人格化，民间已有了城隍祠，最早的城隍庙见于三国吴赤乌二年（239）建的芜湖城隍庙。《搜神记》中说蒋子文逝后显灵为广陵土地神，后被人们封为广陵的城隍，这广陵就是现在的南京。清初孙承泽的《梦余录》也说吴赤乌二年齐慕荣俨、梁武王有祭城隍表文。

第三阶段是：兴盛阶段。唐朝的时候城隍信仰深入州县，民间祈雨求晴、祈福却灾都要求城隍，也就在这个时候道家所城隍纳入信仰体系。

唐朝时，信仰城隍已相当普遍，很多文人雅士，如杜甫、韩愈、张九龄、杜牧、李商隐等人都撰有祭祀城隍的诗文。后唐末帝清泰元年（934）封城隍为王爵。因为在当时的封建专制统治下，人们都希望那些当官的能为民做主，体恤他们的疾苦，因此，他们对那些为人民做好事的官员非常敬重，在他们死后，便把他们做为城隍神供奉。如苏州祀春申君，杭州祀文天祥，上海祀秦裕伯，桂林祀苏缄等。

宋代以后，城隍开始人格化、多以去世后的英雄或名臣奉为城隍神，如苏州祀战国时春申君黄歇，上海祀秦裕伯，北京祀杨椒山，杭州祀周新、文天祥，会稽祀庞王，南宁、桂林祀苏缄等。

第四阶段是：城隍信仰的升华阶段。明朝时期，因为朱元璋的原因，城隍信仰被提升，得到了国家祀典尊崇，城隍被封为“王、公、侯、伯”四个等级。

明太祖洪武元年（1368）则下旨封开封、临濠、束和、平滁四城的城隍为王，职位正一品，与人间的太师、太傅、太保“三公”和左、右丞相平级，又封各府、州、县城隍为公、侯、伯，即府城隍为监察司氏城隍威灵公，职位正二品；州城隍为监察司氏城隍显佑侯，职位正三品；县城隍为监察司氏城隍显佑伯，职位正四品，并且重建各地城隍庙，规模高广与当地官署衙门完全一样，还按级别配制冕旒哀服。洪武三年（1370）正祀典，诏去封号，只称“某府或某县城隍之神，又令各地城隍庙不得杂祀其他之神。据说明太祖朱元璋出生在土地庙里，所以他对土地庙以及土地的“上司”城隍极为崇敬。明孝宗年间（1488—1506），莆田抗元英雄陈文龙（1232—1277）被封为福州城隍爷，其从叔抗元英雄陈瓒（1232—1277）被封为兴化府城隍爷。

纵观城隍神的演变历史，我们不难发现，城隍的出现与城市的形成是同步的。城隍神是从自然神变为人神又从好的变成坏的，从为民众服务的英雄到为封建统治阶级服务的“地方官吏”，从为民众欢迎、爱戴的到被民众所嘲弄和唾骂的过程。